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螺桿干式真空泵是通過泵腔內(nèi)一對(duì)作等速反向旋轉(zhuǎn)螺桿的嚙合作用,完成從吸入氣體、壓縮氣體到排出氣體而形成高真空過程。即兩個(gè)旋向相反的非接觸螺桿型轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)做等速反向旋轉(zhuǎn)。當(dāng)螺桿旋轉(zhuǎn)時(shí),在螺桿真空泵的進(jìn)口處吸入一定體積量的氣體,氣體被壓縮并輸送到真空泵的排出口處被排出。由于泵的二個(gè)螺桿之間以及螺桿與泵腔之間均無接觸,泵腔內(nèi)不需要潤(rùn)滑油。用于潤(rùn)滑齒輪和軸封的潤(rùn)滑油通過軸封與泵腔密封。泵的冷卻可以通過循環(huán)冷卻水直接冷卻或者通過帶有風(fēng)扇及散熱器的冷卻裝置進(jìn)行冷卻。
螺桿轉(zhuǎn)子采用多段變螺距結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),極限真空可達(dá)1Pa以下,可以滿足從大氣到高真空的各類真空處理
變螺距螺桿真空泵規(guī)格參數(shù)
注意 :
表中提供的螺桿干式真空泵的冷卻水量是使用20℃常溫水的量。當(dāng)螺桿干式真空泵使用后置冷卻裝置時(shí)冷卻水量會(huì)有所增加,進(jìn)出水溫度差一般控制在7℃以下為宜。